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芯片堆疊技術(shù)能否實(shí)實(shí)在在解決國產(chǎn)芯片難題?

發(fā)布時(shí)間:2022-12-26 08:35:30 瀏覽:271次 責(zé)任編輯:騰盛精密

 

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前言

芯片堆疊技術(shù)作為一個(gè)新的概念,其在近幾年成為半導(dǎo)體領(lǐng)域研究熱點(diǎn),但這一技術(shù)是否能夠?yàn)閲a(chǎn)芯片發(fā)展帶來實(shí)質(zhì)性的改變呢?


華為芯片堆疊技術(shù)之路


眾所周知,CPU是一個(gè)超大規(guī)模的集成電路板,指甲蓋兒大小的芯片上安置著數(shù)以億計(jì)的晶體管,再也留不出任何空白的地方,那為何不再疊加一張紙放在它的上面呢?3D堆疊由此產(chǎn)生。


所謂的3D堆疊技術(shù)其實(shí)很好理解,就是在原本的封裝體里面,封裝進(jìn)兩個(gè)以上不同功能的芯片,一般都是在不改變原本的封裝體積大小,而在垂直方向進(jìn)行的芯片疊放。


這種技術(shù)所帶來的特點(diǎn)就是改變了原有的在單位面積上不斷增加晶體管的方式,而是在垂直方向上進(jìn)行芯片疊放,自然也會實(shí)現(xiàn)芯片的功能多樣化。


早在2012年,華為便已經(jīng)對芯片堆疊技術(shù)進(jìn)行專利公開,該專利為“芯片堆疊封裝結(jié)構(gòu)”(申請公布號:CN102693968A),主要設(shè)計(jì)芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)芯片的高密度堆疊,提高芯片堆疊封裝結(jié)構(gòu)的散熱效率。


其后幾年,華為也在不斷對外公開其芯片堆疊的相關(guān)技術(shù),足以證明長期以來華為都在這項(xiàng)技術(shù)上深耕研發(fā)。


比如近幾年,華為所公布的兩項(xiàng)芯片堆疊相關(guān)專利,一項(xiàng)是“一種多芯片堆疊封裝及制作方法”(申請公布號:CN114287057A),解決因采用硅通孔技術(shù)而導(dǎo)致的成本高的問題。

另一項(xiàng)為“芯片堆疊封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法、電子設(shè)備”(申請公布號:CN114450786A),用于解決如何將多個(gè)副芯片堆疊單元可靠的鍵合在同一主芯片堆疊單元上的問題。

 

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▲華為專利 (來源:國家知識產(chǎn)權(quán)官網(wǎng))

其實(shí)說到底,堆疊芯片就是利用先進(jìn)的封裝技術(shù)去繞開EUV的“緊固”,放出高性能的芯片。多項(xiàng)與芯片堆疊相關(guān)專利的公開,或許也揭露了華為未來在芯片技術(shù)上的一個(gè)發(fā)展方向。

目前,3D芯片技術(shù)的類別包括:基于芯片堆疊的3D技術(shù),基于有源TSV的3D技術(shù),基于無源TSV的3D技術(shù),以及基于芯片制造的3D技術(shù)。


3D堆疊應(yīng)用商業(yè)化普及


蘋果此前已經(jīng)向我們證明,芯片堆疊技術(shù)是可以大幅提升處理器的性能的。前不久發(fā)布的M1 Ultra芯片,就是通過兩塊M1 Max芯片封裝而來的。


M1 Ultra將兩枚M1 Max中隱藏的芯片間互連模塊(die-to-die connector)通過技術(shù)手段整合在一起,蘋果將其稱之為“Ultra Fusion”架構(gòu),擁有1萬多個(gè)信號點(diǎn),互連帶寬高達(dá)2.5TB/s,而且延遲、功耗都非常低。


這種堆疊方式可在性能、能耗和功能上帶來各種意想不到的好處。


沒有這種技術(shù),蘋果智能手表Apple Watch也就無法做出來,三星最先進(jìn)的固態(tài)存儲器、來自英偉達(dá)和谷歌的人工智能系統(tǒng)和索尼超級快速的新型相機(jī)也不例外。


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Apple Watch(來源:網(wǎng)絡(luò))


芯片堆疊也帶來了一些全新的功能。有的手機(jī)攝像頭將圖像傳感器直接疊加在處理圖像的芯片上面。額外的速度意味著,它們能夠?qū)φ掌M(jìn)行多次曝光,并將其融合在一起,在昏暗的場景里捕捉到更多的光線。


3D堆疊式芯片的普及非??焖?,它們也必然會成為行業(yè)主流。10年前,該技術(shù)幾乎僅僅存在于高校實(shí)驗(yàn)室;五六年前,還難以找到它的商業(yè)化案例。但它如今如雨后春筍般涌現(xiàn),出現(xiàn)在各類的應(yīng)用上,如網(wǎng)絡(luò)化、高性能計(jì)算和Apple Watch等高端可穿戴設(shè)備。


芯片堆疊關(guān)鍵工藝及局限性


華為“雙芯疊加”專利與蘋果的“Ultra Fusion”架構(gòu)還是有所不同。華為采用的上下堆疊的方式,而蘋果采用平行布置的方式。而且蘋果的M1 Ultra芯片是用在Mac電腦上的。這就說明,芯片堆疊需要更多的封裝空間,以及面臨功耗增大、散熱需求增大的問題。

兩個(gè)封裝都是由多個(gè)芯片堆疊而成,目的是為了減少多芯片封裝占用的空間,從而實(shí)現(xiàn)存儲器件尺寸的最小化。其中較關(guān)鍵的工藝是芯片減薄、切割,以及芯片貼合。
研磨后切割
(Dicing After Grinding,DAG)
主要針對較厚的芯片(厚度需求>60um),屬于較傳統(tǒng)的封裝工藝,成熟穩(wěn)定。晶圓在貼上保護(hù)膜后進(jìn)行減薄作業(yè),再使用刀片切割將芯片分開。適用于大多數(shù)的封裝。

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▲DAG(來源:DISCO
研磨前切割
 (Dicing Before Grinding,DBG)
主要針對38-85um芯片厚度,且芯片電路層厚度>7um,針對較薄芯片的需求和存儲芯片日益增長的電路層數(shù)(目前普遍的3D NAND層數(shù)在112層以上)。使用刀片先將芯片半切,再進(jìn)行減薄,激光將芯片載膜 (Die attach film)切透。適用于大部分NAND 芯片,優(yōu)勢在于可以解決超薄芯片的側(cè)邊崩邊控制以及后工序芯片隱裂(die crack)的問題,大大提高了多芯片封裝的可行性和可量產(chǎn)性。

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 DBG(來源:DISCO)
研磨前的隱形切割
(Stealth Dicing Before Grinding,SDBG)
主要針對35-85um芯片厚度,且芯片電路層厚度<7um,主要針對較薄芯片的需求且電路層較少,如DRAM。使用隱形激光先將芯片中間分開,再進(jìn)行減薄,最后將wafer崩開。適用于大部分DRAM wafer以及電路層較少的芯片,與DBG相比,由于沒有刀片切割機(jī)械影響,側(cè)邊崩邊控制更佳。芯片厚度可以進(jìn)一步降低。

 

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SDBG(來源:DISCO)

從市場需求來看,倒裝封裝和硅通孔,以及晶圓級(wafer level)的封裝形式可以有效地減小器件尺寸的同時(shí),提高數(shù)據(jù)傳輸速度,降低信號干擾可能性。


芯片堆疊技術(shù)推動(dòng)國產(chǎn)芯片量產(chǎn)


在諸多限制和封鎖下,我國一直缺乏半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備EUV光刻機(jī),這就導(dǎo)致中國在推進(jìn)7nm工藝乃至更先進(jìn)的工藝方面始終無法突破,但是中國芯片行業(yè)采取了兩條路線齊步走的方式發(fā)展芯片。

其中一條路線就是積極推進(jìn)國產(chǎn)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈的完善和技術(shù)升級;另一條路線則是研發(fā)先進(jìn)的封裝技術(shù),例如華為芯片堆疊技術(shù)將兩枚同樣以14nm工藝生產(chǎn)的芯片堆疊在一起,從而取得接近7nm工藝的性能。

▲Kirin芯片(來源:網(wǎng)絡(luò))

堆疊技術(shù)并非新技術(shù),華為此項(xiàng)專利只是其中一個(gè)堆疊方法的專利展示。至少為國內(nèi)被芯片“卡脖子”提出了解決方案之一,在此研發(fā)過程所沉淀和積累下來的研發(fā)能力、研發(fā)隊(duì)伍、研發(fā)平臺也是有價(jià)值的。


Tensun騰盛作為在半導(dǎo)體封測領(lǐng)域有著十六年經(jīng)驗(yàn)的精密裝備供應(yīng)商,也一直不斷探索SiP先進(jìn)封裝領(lǐng)域產(chǎn)品設(shè)備的開發(fā)和制程應(yīng)用,致力于為客戶提出半導(dǎo)體制程封測的解決方案。


只要有市場,中國芯片就能引領(lǐng)世界,芯片堆疊技術(shù)能最大化發(fā)揮目前的國產(chǎn)芯片資源優(yōu)勢。5G技術(shù)融入到各行各業(yè),幫助傳統(tǒng)企業(yè)快速轉(zhuǎn)型升級,利用我們自身的優(yōu)勢去提高行業(yè)發(fā)展。



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聲明:本文部分內(nèi)容參考出處有:

1.「華為公布芯片新專利,堆疊封裝的利與弊各是什么?」,來源:物聯(lián)網(wǎng)智庫

2.「華為首次公開芯片堆疊封裝技術(shù)!」,來源:云腦智庫 

3.一文解析多芯片堆疊封裝技術(shù)」,來源:電子發(fā)燒友

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Tensun騰盛精密創(chuàng)立于2006年7月,一直專注于
精密點(diǎn)膠與精密切割(劃片)兩大產(chǎn)品線,
深耕于3C手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、新型顯示及半導(dǎo)體封測三大行業(yè)。
Tensun騰盛自成立之初便十分注重核心技術(shù)的研發(fā)投入,
目前已經(jīng)掌握了精密點(diǎn)膠及精密切割(劃片)的核心技術(shù),
成為具備核心模塊設(shè)計(jì)、整機(jī)及自動(dòng)化系統(tǒng)集成能力的
高科技型精密裝備企業(yè)。

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